一种耐高温型氟橡胶及其制备方法

本发明公开了一种耐高温型氟橡胶及其制备方法，其特征在于：所述耐高温型氟橡胶，包括大金G‑902‑1:90‑110份，碳黑（N990）：15‑25份，三烯丙基异三聚氰酸酯：1‑3份，氧化鎂:4‑6份，101XL‑45：1.5‑2份；所述耐高温型氟橡胶的制备方法，一次固化：加压固化：10‑15分钟@140‑160℃，后固化；二次固化：4‑5小時@160‑180℃。经过对比实验，在200度/70小时下，压縮变形由23改善至18；在200度/168小时下，压缩变现由35改善至27，耐热性比原G902更好；半导体干蚀刻的传递门阀涂覆本案的耐高温型氟橡胶（G902‑1）后，上机实验，1年的连续使用，在干蚀刻使用下无异常，经过设备端实际验证下，使用次数10万次，橡胶弹性保持10的负9次方真空度，完全满足客户的使用需求。