一种防静电晶圆搬运摩擦垫材料制备及应用

本发明涉及高分子材料技术领域，且公开了一种防静电晶圆搬运摩擦垫材料制备及应用，包括以下重量组分：60‑70重量份的甲基硅橡胶、2‑3重量份的改性石墨烯、1‑3重量份的防静电剂、0.3‑0.5重量份的抗氧剂1010。本发明通过将改性石墨烯与防静电剂的协同作用，构建了高效的导电通路，能快速疏导摩擦产生的静电，可有效避免静电吸附灰尘污染晶圆，同时防止静电击穿晶圆表面敏感电路，显著降低因静电导致的晶圆报废率，保障半导体制造过程的稳定性；防静电剂中的季铵盐基团也具有较好的防静电效果。同时也具有较好的阻燃效果。