一种氟硅-纳米陶瓷杂化涂层及其制备方法

本申请提供了一种氟硅‑纳米陶瓷杂化涂层，其中，氟硅‑纳米陶瓷杂化涂层设置在基底上；距离基底xμm的区域中，氟硅树脂的质量占比为y1%，纳米陶瓷的质量占比为y2%；y1=a‑kx，y2=kx+b，70≤a≤90，10≤b≤30。本申请公开了该涂层的制备工艺，通过采用氟硅树脂和纳米陶瓷制备涂层并且调控工艺制备过程中的固化条件，能够使涂层在‑70℃至250℃宽温域下稳定工作，能够有效降低涂层制备成本，还能够提高涂层的抗污染性和使用寿命，满足半导体制造的高洁净度要求。