一种光学镀膜装置用镜片夹持机构

本发明公开了一种光学镀膜装置用镜片夹持机构。一种光学镀膜装置用镜片夹持机构，包括光学镜片固定在镜座上，光学镜片与镜座组成镜组，镜组通过周向排布的柔性件与行星盘上表面连接；柔性件呈一圆柱体，圆柱体上开设有至少两个从上至下排布的力缓冲槽，相邻的力缓冲槽的周向间隔角度为不大于180°。本发明的柔性件通过自身变形抵消行星盘受热膨胀产生的力，避免行星盘的变形传导到镜座，影响光学镜片镀膜精度，从而达到改善光学镜片面型的目的。同时，柔性件结构通过优化剪切有效截面积以及剪切作用长度，降低抗剪切强度，同时避免剪切应力过大。