旋转阴极

根据一实施例的旋转阴极用于溅射装置，是可旋转地分别连接到端块和端盖的旋转阴极，包括；轴，其可以旋转轴为中心旋转；头部连接器，其布置在所述轴的前端部；主体连接器，其布置在所述轴的侧面；电缆，其布置在所述轴的内部，并连接所述头部连接器与主体连接器；电磁铁，其与所述轴平行布置；以及电磁铁连接器，其布置在所述电磁铁，并可拆装地设置在所述主体连接器。