磁控装置及半导体工艺设备

本申请公开一种磁控装置及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。磁控装置包括背板和多个磁组，多个磁组相配合以形成用于约束等离子体的运动方向的水平磁场，各磁组均包括电磁模块和永磁体，电磁模块和永磁体均设置于背板，电磁模块包括电磁线圈，电磁线圈环绕永磁体设置，通过调节电磁线圈的通电电流以调节磁控装置产生的磁场强度。半导体工艺设备包括上述的磁控装置。如此，电磁模块与永磁体相结合，能够提供较大且恒定的磁场，足以约束腔室本体内的等离子体的运动方向，且不会改变磁场分布情况，能有效调节靶材表面的磁场强度，使靶材表面的磁场强度恒定。