成膜装置及其保养方法

本发明提供一种成膜装置及其保养方法。缩短停机时间。成膜装置具备：长方体形状的处理室，其收纳基板；载物台加热器，其配置于处理室的内部；气体供给部，其向处理室的内部供给成膜用的原料气体；以及圆筒形状的套筒，其配置于处理室的内部，套筒以两端的开口分别与载物台加热器和气体供给部相对的方式配置，在处理室的一侧面配置有能够开闭的保养用门，在一侧面以外的各侧面的内侧配置有第1侧加热器，在保养用门的内侧安装有第2侧加热器，在保养用门关闭时，第1侧加热器和第2侧加热器包围套筒，第1侧加热器构成为，在保养用门打开时能够从一侧面取出该第1侧加热器。