多站式反应设备及其分气系统

本发明提供了一种多站式反应设备及其分气系统。该多站式反应设备的分气系统包括多条第一工艺气体管道、多条第一废气管道和多条吹扫气体管道。该多条第一工艺气体管道设于多个反应站之上，其一端在多个反应站上方的中心连接第一工艺气体源，另一端分别以相同长度通入对应的反应站。该多条吹扫气体管道设于多条第一工艺气体管道之上，其第一端连接吹扫气体源，而其第二端分别规避多条第一工艺气体管道延伸，并以相同长度通入对应的反应站。该多条第一废气设于多条吹扫气体管道之上，其第一端在多个反应站上方的中心连接废气总管，而其第二端分别规避多条第一工艺气体管道和多条吹扫气体管道延伸，并以相同长度通入对应的反应站。