一种碳化硅晶片制造用退火装置

本发明涉及半导体材料制造技术领域，包括自动调节组件以及辅助调节组件，且公开了一种碳化硅晶片制造用退火装置，本发明通过自动调节组件以及辅助调节组件输入电流，当退火板表面所放置的碳化硅晶片退火稳定时间后，自动调节组件以及辅助调节组件控制碳化硅晶片的退火位置进行调节，以便于对碳化硅晶片全身进行均匀退火作业；本发明通过自动调节组件以及辅助调节组件输入稳定的工作电流，控制退火后的碳化硅晶片的一侧处于倾斜状态，方便工作人员后期进行收集，从而进一步提高碳化硅晶片整体的生产效率。