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真空泵
发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
杉浦哲郎; 长山真己; 大渕真志; 阿纳加·卡玛特卡尔
IPC 分类
F04C 18/08 (2006.01)F04C 18/12 (2006.01)
本发明提供一种真空泵，粉末难以夹在罗茨转子间，能够维持罗茨转子的顺畅旋转，并且还能够使用间隙规准确地测量罗茨转子间的间隙。第一罗茨转子(8)和第二罗茨转子(9)分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)；位于渐开线侧面(31)的径向外侧的圆弧凸面(34)；位于渐开线侧面(31)的径向内侧的圆弧凹面(36)；将渐开线侧面(31)与圆弧凸面(34)平滑地连结的外侧平滑曲面(35)；以及将渐开线侧面(31)与圆弧凹面(36)平滑地连结的内侧平滑曲面(37)。圆弧凸面(34)的曲率半径(R1)小于圆弧凹面(36)的曲率半径(R2)。