表面高度分布测量装置

本发明提供一种表面高度分布测量装置，其用于测量板状的测量对象的表面高度分布，并且包括：非接触距离测量部，非接触地测量自该非接触距离测量部至所述测量对象的表面的距离；移动部，使所述测量对象和所述非接触距离测量部相对地移动；以及，板状构件，被设置在如下位置：在由所述非接触距离测量部进行测量时，与所述测量对象非接触且平行于所述测量对象，并且，在从相对于所述测量对象的表面垂直的方向观察时，覆盖所述测量对象的至少局部。据此，与以往技术相比，能够更精度良好地进行测量。