多自由度激光干涉仪计量测试评价标准装置及其工作方法

本发明测量仪器计量测试技术领域，尤其是涉及一种多自由度激光干涉仪计量测试评价标准装置及其工作方法。本发明的双频激光器及光纤耦合单元用于为测量单元提供光线基准和电压基准；测量单元用于进行偏摆角、俯仰角、滚转角、水平方向位移、垂直方向位移的测量；位移/角度发生单元用于提供偏摆角、俯仰角、滚转角、水平方向位移、垂直方向位移的运动；上位机与双频激光器及光纤耦合单元的输出端连接，上位机用于对测量数据进行解码、分析、显示和保存。本发明能够对高精度集成式多自由度激光干涉仪的三自由度角度测量精度指标、测量范围指标以及二自由度面内位移测量精度指标、测量范围指标等关键计量特性进行系统且精确的计量测试评价。