一种基于FPGA的单频激光干涉快速测距方法

本发明公开一种基于FPGA的单频激光干涉快速测距方法，该方法包括：光电探测器将四路干涉电信号并传输至四通道AD转换子卡，转换为四路干涉数字信号；FPGA主板接收四路干涉数字信号，传输至FPGA片内缓存区；设计FPGA并行流水线架构，在接收信号的同时，对已接收信号同步进行差分计算获得两路干涉信号，同时检测两路干涉信号极值用于误差校正；校正后的两路干涉信号依次通过CORDIC IP核进行反正切运算获取相位数据，最终对相位数据进行展开和辨向处理，转换为位移数据。本发明能够有效提升激光干涉测距算法的计算速度，在保证纳米级测量精度的同时实现实时位移检测，在精密测量和半导体制造等领域具有广阔的工程应用前景。