同质一体化的双模态传感器及其制备方法

本发明涉及一种同质一体化双模态传感器及其制备方法，属于传感器制备技术领域，解决了采用现有方法制得双模态传感器测量稳定性差、知量程小、工艺流程复杂的问题。所述方法包括：(1)设计平面互补迷宫结构的线圈层；(2)模具浇注获得图案化的线圈层基底；(3)在线圈层基底上填涂获得线圈层；(4)模具浇注获得压阻层；(5)浇注固化获得支撑框，所述支撑框的内腔尺寸大于所述压阻层的体积尺寸，高度差构成封装后制得传感器的气隙层；(6)封装，其中，封装固化后构成封装层与功能层基体的材质相同。由本发明方法制得传感器具有同质一体化结构和较大感知量程，改善鲁棒性和耐用性，且简化了工艺制备流程。