一种医用回旋加速器真空室的真空度检测方法

本发明涉及真空或密封检测技术领域，具体涉及一种医用回旋加速器真空室的真空度检测方法。本发明首先获取真空室的泄漏率及真空系统的气压序列；然后结合真空泵连接顺序，分析气压序列，获取真空系统的真空泵状态系数；进一步获取修正室内气压；然后根据修正室内气压及泄漏率相对对应预设标准的偏离情况，获取真空系统的真空室状态系数；最终获取真空室的真空系数，评估真空室的真空度。本发明基于真空系统中真空泵的多级协作工作方式，评估真空泵运行状态，进而修正所测量的真空室的室内气压，然后结合真空室的修正室内气压及泄露情况，评估真空室状态；然后综合真空泵运行状态及真空室状态，准确评估真空室的真空度。