一种旋转对称非球面光学元件环形阶梯式三维扫描方法和装置

本申请提供一种旋转对称非球面光学元件环形阶梯式三维扫描方法和装置，属于光学扫描技术领域。本申请提供的方法包括：确定光学元件的旋转对称中心，根据旋转对称中心计算非球面的表面的曲度变化信息；根据扫描子孔径大小和曲度变化信息确定扫描子孔径的畸变参数，畸变参数与曲度值呈正比例；以旋转对称中心为中心点，根据曲度变化信息对非球面的表面划分多个环形区域；根据畸变参数确定每个环形区域内的最优环形扫描路径；从中心点出发，由内向外按照最优环形扫描路径对光学元件扫描，不同最优环形扫描路径对应的扫描景深不同。本申请提供的旋转对称非球面光学元件环形阶梯式三维扫描方法和装置，用以实现非球面光学元件表面的精准扫描。