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기록
一种扫描散射式光束分析仪
발명유효
8청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
申琦琦; 孙青; 李超辰; 张云鹏
IPC 분류
G01M 11/02 (2006.01)G01B 11/00 (2006.01)G01B 11/02 (2006.01)
本发明涉及一种扫描散射式光束分析仪,包括通过光束传播路径多位置的成像扫描机构实现光束散射光的全视场采集,所述成像扫描机构采用可移动成像组件或固定阵列式成像组件,所述成像单元包括成像暗室、视场光阑、成像镜头及相机;上位机分别与所述扫描机构及所述相机电连接,控制所述扫描机构采集不同位置的散射光图像,对所述图像进行拼接处理,基于拼接后的图像计算光束中心位置及光束宽度,再根据所述光束中心位置及光束宽度拟合激光光束的传播参数,最终得到激光光束质量指标。本发明对激光光束进行扫描成像实现多位置的高分辨率成像与瑞利长度覆盖,光束采集稳定性,提升测量准确性;适配高功率、短波等高光束质量激光器。