一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统

本发明属于洁净度检测技术领域，具体涉及一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统，包括以下步骤：S1，获取半导体胶带表面的多频谱图像；对多频谱图像中的每一像素点，计算像素点光谱维度的马氏距离与空间维度的Gabor纹理响应的加权和，得到空间光谱‑纹理异常指数；基于空间光谱‑纹理异常指数确定拉曼光谱的激发点，并采集各激发点的拉曼光谱数据；S2，提取激发点的多频谱特征向量和拉曼光谱特征向量。本发明基于带有置信度权重的高质量稀疏测量结果，通过插值生成了全视场洁净度分布图，实现了对胶带表面污染状况的全面评估，解决了传统方法在检测效率、识别精度和表示全面性之间的矛盾。