一种基于辉光光斑特性的等离子体发生器解离率检测方法、检测系统

本申请实施例涉及检测，公开了一种基于辉光光斑特性的等离子体发生器解离率检测方法，包括：获取标准样机的等离子体启辉过程中产生的样机光斑数据；响应待测等离子体发生器的开启信号，获取其等离子体启辉过程中产生的光信号，基于光信号生成待测机光斑数据；比对待测机光斑数据和样机光斑数据，根据比对结果判定待测等离子体发生器合格或异常。本申请还公开了一种检测系统。通过获取标准样机与待测机的光斑数据并进行比对实现等离子体发生器解离率检测，摆脱了对电信号采集的依赖；传统电信号检测易受高频干扰导致数据失真，而基于辉光光斑特性分析，从源头避免了电气干扰问题，实现了电气隔离，提升了检测过程的稳定性和安全性。