一种用于热场发射电子枪的检验方法、装置及存储介质

本发明涉及扫描电子显微镜技术领域，公开了一种用于热场发射电子枪的检验方法、装置及存储介质，本申请通过设置等电位耐压测试、非等电位耐压测试、极间耐压测试、束流稳定性测试等多场景针对性测试，实现对电子枪真空适配性、耐压安全性、发射稳定性、对中性、成像适配性等全性能维度的覆盖。该方法可确保热场发射电子枪能够适配不同扫描电子显微镜的实际使用条件，有效降低电子枪装机后因性能不达标而影响扫描电镜成像问题；同时，能够显著提升热场发射电子枪与扫描电子显微镜的适配程度，进而确保扫描电子显微镜可稳定发挥其极限分辨率与量测精度，减少扫描电子显微镜后续调试过程中的成本投入与时间消耗。