一种用于石英露点传感器的数字多模态温频补偿方法

本发明公开了一种用于石英露点传感器的数字多模态温频补偿方法，属于湿度测量领域。本发明采用数字方式生成石英晶体多模态复合激励信号驱动石英晶体，通过高速ADC对石英晶体的响应信号进行采集，在FPGA中基于数字下变频技术，完成对响应信号的I/Q解调，解算得到相位差，系统根据相位差实时调整激励信号频率，将相位差维持在零，实现对石英晶体多模态谐振频率的动态锁定，计算得到泛音比，利用泛音比作为反馈量来剔除温度对石英露点传感器的影响。本发明能够有效剔除石英晶体温频效应带来的测量误差，且采用全差分结构，能有效抑制共模干扰，系统采用全数字锁相结构，避免模拟漂移，系统长期稳定性高，能实现多模态并行锁定，从而对泛音比进行实时测量。