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案件記録

一种快速判断硅料质量的方法

発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

何亮; 罗鸿志; 王发辉; 徐云飞; 李建敏

IPC分類

G01N 27/04 (2006.01)

本申请公开一种快速判断硅粉料质量的方法,涉及晶体生长技术领域,方法的步骤包括:步骤一:将硅粉料装入陶瓷坩埚中;将陶瓷坩埚放入石墨坩埚中;石墨坩埚设置于中频炉的炉腔内;步骤二:打开中频炉的加热装置,在一定时间内使中频炉上升至45kW以上,进行硅粉料的熔化;并在熔化过程中,将中频炉的功率保持在45kW以上;步骤三:待硅粉料熔化后,关闭中频炉的加热装置,并使得硅粉料冷却至室温,得到采用所述硅粉料制备的小硅锭;步骤四:取出冷却后的小硅锭并截取中间位置,测量小硅锭的电阻率值R和/或少子寿命值τ;并与电阻率值和/或少子寿命值的阈值进行对比,判断硅粉料的质量。

外部リソース