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기록

气体传感器阵列及气体传感器芯片

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李志强; 鲜济遥; 欧阳纯方; 金贤敏; 魏志猛

IPC 분류

G01N 27/12 (2006.01)

本发明公开了一种气体传感器阵列及气体传感器芯片。气体传感器阵列包括感受件及薄膜场效应晶体管开关,薄膜场效应晶体管开关与感受件串联;组成一个气体传感器单元;多个沿行和/或列排布的气体传感器单元;位于同一行的薄膜场效应晶体管开关的栅极均与同一个扫描线相连接;位于同一列的薄膜场效应晶体管开关的源极或漏极均与同一个数据线相连接;位于同一列的感受件均与同一个数据线相连接。通过薄膜场效应晶体管开关控制感受件,可以实现每个感受件的独立控制,还能实现感受件的连续控制,可以避免为感受件配置复杂的电路,可以实现大尺寸、大规模气体传感器阵列,能够集成上万个气体传感器单元。