一种柔性无线无源声表面波多通道气体传感器及其制备方法

本发明涉及传感器技术领域，提出了一种柔性无线无源声表面波多通道气体传感器及其制备方法，传感器包括柔性衬底、压电薄膜、叉指换能器和反射栅，压电薄膜设置于柔性衬底表面；叉指换能器有四组，阵列设置于压电薄膜表面；每个叉指换能器的两侧均对称设置两组反射栅。其中，三组所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的区域分别涂覆敏感材料：SnO/Pd/MnO/KH‑560/CNTs/PVP复合材料、PANI纳米纤维/KH‑560复合材料和分子印迹聚合物，剩下一组不涂覆敏感材料，作为参考。本发明传感器的敏感材料提升了传感器的灵敏度和选择性，缩短了响应时间以及降低了湿度干扰的影响，适用于CO、乙醇和丙酮气体检测。