一种MEMS悬臂探针卡及其探针更换方法

本发明涉及一种MEMS悬臂探针卡及其探针更换方法。所述MEMS悬臂探针卡包括基板、设置在基板上的若干初始焊盘、与初始焊盘一一对应的若干备用焊盘、焊接在对应所述初始焊盘上的若干初始探针，以及对应所述备用焊盘的若干替换探针，所述初始焊盘与其对应的备用焊盘在电路或电气连接上保持一致，备用焊盘和替换探针的对应是指两者配合使用使替换探针接触到对应初始探针接触晶圆的位置。本发明提供的技术方案采用备用焊盘和对应的替换探针的方式完全颠覆了现有探针修复的思路，可以确保重新植针具有很好的焊接的强度、位置度和电气连接性能，并且拆除损坏的探针时无需解焊，也不用顾虑焊盘失效和导致干涉探针受影响的问题。