一种基于二维亚波长光栅结构的多模偏振无关光交叉波导

本发明提出了一种基于二维亚波长光栅结构的多模偏振无关光交叉波导，包括：衬底、包层、第一多模输入波导臂、第一多模输出波导臂、第二多模输入波导臂、第二多模输出波导臂和中心交叉区域；在衬底的上表面集成有各波导臂和中心交叉区域，所述包层覆盖于整个结构之上；各波导臂与中心交叉区域具有相同的宽度和高度，且各波导臂与中心交叉区域构成正交交叉布局。本发明可同时支持5阶TE模式和2阶TM模式在宽带范围内的低损耗、低串扰交叉传输。该交叉波导结构紧凑，制备工艺与标准CMOS流程兼容，适用于高密度集成、大容量的模式‑偏振混合复用的片上光互连系统。