一种光学反馈式可调谐法布里-珀罗滤波器

本发明属于光学滤波器技术领域，公开了一种光学反馈式可调谐法布里‑珀罗滤波器，包括：支撑结构，由固定镜筒与载荷镜筒通过榫卯结构衔接；谐振腔组件，包括互相平行的第一反射镜和第二反射镜；调谐驱动模块，包括压电陶瓷，通过向压电陶瓷施加电压调控谐振腔组件的腔长；光学反馈模块，用于根据检测光在第一反射镜和第二反射镜之间的衍射缝隙产生的衍射图案，计算腔长和腔长偏差，从而调节压电陶瓷的驱动电压。本发明通过引入基于衍射效应的光学反馈机制，实时监测并补偿腔长变化，解决压电陶瓷蠕变、迟滞导致的输出峰漂移问题，同时保持小尺寸特性与高稳定性。