一种纳米级光谱深度编码的激光直写系统及其实现方法

本发明公开了一种纳米级光谱深度编码的激光直写系统及其实现方法，属于激光加工领域。本发明解决了传统工艺中因加工与表征分离导致的系列问题，通过光谱仪实时采集光轴分层扫描数据，与激光直写共享物镜光路，将光的颜色信息编码成样品深度信息，实现纳米级探测成像，显著提升轴向灵敏度；采用抑制光源，实现超分辨直写；采用反馈式无像差轴向扫描算法计算相位分布，实现物镜焦点沿光轴的移动；建立多级联动的动态调节机制，突破传统直写工艺的静态校准局限；本发明应用于高精度纳米加工与实时无损检测领域的制备与形貌表征、集成光学芯片的微结构制造等，为前沿科研与高端制造提供了集超分辨加工与原位监测于一体的先进解决方案。