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기록
非规则图形的拆分方法、可读存储介质
발명유효
9청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
闻峰; 刘建忠
IPC 분류
G03F 7/20 (2006.01)
本发明提供一种非规则图形的拆分方法、可读存储介质,包括:提供原始版图,根据光刻能力设计图形拆分规则与图形设计规则;根据图形设计规则添加虚拟填充图形,将非规则图形整形为规则图形;根据图形拆分规则,对规则图形进行拆分分析,以得到拆分通解;根据拆分通解,对具有相同特征的规则图形进行预着色,以对具有不同特征的规则图形通过不同颜色进行区别;拆分未着色的规则图形,去除虚拟填充图形,得到最终拆分结果;所述可读存储介质存储有计算机程序,计算机程序在被执行时,执行所述拆分方法。通过虚拟填充将非规则图形转化为规则图形,再进行预着色,解决了现有拆分技术计算复杂度高、工艺可靠性差等问题。