显影用流体供给装置、显影装置和显影用流体供给方法

本发明提供显影用流体供给装置、显影装置和显影用流体供给方法，供给适于含金属抗蚀剂的显影的、包含弱酸的气体和雾中的至少任一者的显影用流体。显影用流体供给装置具有：与显影部连接的供给路径，该显影部能够利用包含弱酸的气体和雾中的至少任一者的显影用流体对形成有含金属抗蚀剂膜且实施了曝光处理的基片进行显影；从显影用液体生成所述显影用流体的显影用流体生成部；和加热部，其对经由所述供给路径供向所述显影部的所述显影用流体进行加热。