位置控制方法、滤波器联用系统、电子设备及存储介质

本申请提供了一种位置控制方法、滤波器联用系统、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域。通过建立以真空传输通道为基准的参考坐标体系，获取样品承载平台的目标位置信息，并实时获取样品承载平台的三维位置信息和机械臂的各关节角度信息。基于这些信息，能够生成机械臂的运动轨迹调整量，并据此调整机械臂的运动轨迹，确保样品承载平台准确进入对应的工艺腔。在工艺腔中，通过获取样品承载平台上的对准标记信息，能够进一步调整样品承载平台在工艺腔中的目标姿态，显著提高了样品在多个工艺腔室之间传输时的位置和姿态控制精度，从而保证了工艺的一致性，提升了器件性能的稳定性，并最终提高了产品的良率。