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精密气浮条的临界压力值的计算方法及装置

发明专利有效
10权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

兰双龙; 李青; 李赫然; 潘宁; 安利营; 赵玉龙

IPC 分类

G06F 30/20 (2020.01)G16C 60/00 (2019.01)G06F 119/14 (2020.01)

本发明公开了一种精密气浮条的临界压力值的计算方法及装置。所述计算方法,包括:获取精密气浮条的制作工艺信息和表面微孔材料信息;根据所述制作工艺信息,分析所述精密气浮条的粘结强度数据;根据所述表面微孔材料信息,分析所述精密气浮条的材料质地因子数据和抗折强度数据;通过映射关系,计算所述精密气浮条的临界压力值。本申请的技术方案可直接精确的计算出精密气浮条的临界压力值,避免了基板产线上的气压大于该临界压力值所导致的产品损坏、产线停机和检测人员受伤的问题,而且检测效果准确且实用性强。