一种分析漏率对高真空系统中水蒸气抽气行为影响的方法

一种分析漏率对高真空系统中水蒸气抽气行为影响的方法，通过静态压升实验量化系统水蒸气外部漏率，并在多种内部构型下获取实验抽气曲线；基于实际几何结构建立三维有限元模型，引入吸附能随表面覆盖度对数变化的异质性吸附‑解吸动力学方程，并利用多组实验曲线反演标定黏附系数、吸附位点密度等关键参数；最后，在验证准静态平衡条件后，基于标定模型定量仿真分析不同漏率大小及漏孔空间分布对抽气过程和腔内压强空间均匀性的影响。本发明解决了传统模型依赖经验参数、忽视漏率空间效应的问题，能为高真空系统的密封设计、泄漏诊断与性能优化提供精确的定量依据。