基于TSV的三维集成电感器多目标优化方法

本发明公开了基于TSV的三维集成电感器多目标优化方法，具体包括如下步骤：步骤1，建立三维电感器的几何模型，并确定待优化的几何参数；步骤2，对步骤1所确定的电感器结构进行采样，将采用得到的数据划分为训练集合测试集；步骤3，对步骤2的采样数据进行数值仿真，获得每组几何参数所对应的导纳参数Y，随后对Y参数进行降阶、合并处理，输出合并结果y；步骤4，确定人工神经网络结构；步骤5，根据步骤4的网络结构，确定多目标优化的目标函数。在确保优化精度的同时，提高了优化效率。