晶圆加热盘视觉检测方法及系统

本发明提供一种晶圆加热盘视觉检测方法及系统，检测方法的步骤包括：检测环境参数配置，上料定位，常温冷态检测，热态稳态检测和数据处理及结果判定，通过晶圆加热盘视觉检测系统执行，能够多维获取加热盘上表面、下表面、侧面的图像以实现全表面检测，并能兼顾常温冷态与热态稳态工况，结合光纤光栅传感器采集的温度分布数据，实现对冷态固有缺陷和热致新增缺陷的有效识别；并且整个系统从环境参数配置、机械臂上料定位、图像采集、数据处理和结果判定均实现自动化控制，同时在检测流程中融入灰度突变复核，减少人工干预和人工主观误差，提升检测精度。