合成感兴趣缺陷的自动生成和植入和半导体样本的合成故障图像的生成

目前公开的主题包括一种计算机系统和一种自动地生成合成感兴趣缺陷(DOI)并且将所述DOI植入查验输出图像中由此生成合成故障图像的计算机实现的方法。所提出的技术实现合成故障图像的大集合(例如，数百万或更多)的迅速、准确且高效的生成，这可运行时实现，作为半导体样本的查验过程的一部分。所述合成故障图像可被生成并用于在半导体制作过程期间运行中检测DOI。