一种薄膜片式电感及其制备方法与应用

本发明属于电子元器件技术领域，具体涉及一种薄膜片式电感及其制备方法与应用。所述薄膜片式电感的制备方法，包括以下步骤：采用第一靶材和第二靶材依次在基板上溅射沉积薄膜层，然后进行掩膜、电镀、蚀刻、印刷保护膜和封端处理，然后电镀镍层和锡层，得到所述薄膜片式电感；所述第一靶材为NiCr，所述第一靶材的溅射厚度为40‑70nm；所述第二靶材为Cu，所述第二靶材的溅射厚度为400‑700nm；所述溅射在混合气体中进行，所述混合气体包括氮气和氩气，所述氮气和氩气的流量比为(2‑3)：(35‑45)。采用本发明的方法制备薄膜片式电感，精度可达到±0.05％，同时还具有高的Q值，特适用于对性能和尺寸有极端要求的领域。