运行粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备

本发明涉及一种运行粒子束设备的方法，该粒子束设备用于对物体进行成像、加工和/或分析，并且还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束设备。该方法包括以下步骤：提供用于粒子束设备的粒子束相对于物体的相对定位的控制数据，其中，该控制数据包括关于放大率值和关于速度值的信息；将所提供的控制数据变换成用于致动可移动的物体载具或致动偏转装置以使粒子束偏转的致动数据，其中，该致动数据包括关于放大率值和关于致动速度值的信息；使用致动数据来执行物体和粒子束设备的视场相对于彼此的相对移动。