离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质

本公开实施例公开了一种离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及离子源技术领域，该方法包括：接收离子源射出的离子束，基于离子束测量得到第一电流信号和第二电流信号；第一电流信号为法拉第杯沿横轴移动测量得到的，第二电流信号为法拉第杯在至少一个偏置电压下测量得到的；根据第一电流信号和法拉第杯的空间响应函数反演得到离子源的束流密度分布；和/或，根据第二电流信号和空间响应函数，反演得到离子源的离子能量分布；空间响应函数用于表征离子束入射到法拉第杯后被收集的概率；基于束流密度分布和/或离子能量分布对离子源进行在线检测。本公开实施例适合对大尺寸离子源进行在线检测，检测方式简单且成本较低。