微机械系统谐振器以及传感器

本申请公开了一种微机械系统谐振器以及传感器，该微机械系统谐振器包括衬底、输入信号端子、输出信号端子和多个谐振组件；每个谐振组件包括固定电极，设置于衬底上；振动电极，平行且悬空设置于固定电极远离衬底的一侧上方，所述电极在所述衬底上的正投影覆盖所述固定电极在所述衬底上的正投影；第一支撑结构，设置于衬底靠近所述振动电极的一侧并与所述振动电极连接。通过本申请提供了一种工艺简化、成本较低、器件质量小、器件体积小以及所需激励电平小的微机械系统谐振器以及传感器。