体声波滤波器

本公开提供了一种体声波滤波器。示例体声波滤波器在半导体基板中和半导体基板上形成。该滤波器包括：埋入半导体基板中的气腔；以及与气腔对齐形成的至少一个谐振器，谐振器包括夹在底部电极和顶部电极之间的有源层。