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기록

存储阵列及其制备方法、存储器和电子设备

발명유효
20청구항 · 5 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

孙莹; 黄凯亮; 景蔚亮; 王正波

IPC 분류

H10B 12/00 (2023.01)

本申请提供一种存储阵列及其制备方法、存储器和电子设备,涉及半导体技术领域,用以解决如何提高存储密度的问题。该存储阵列包括多个存储单元,存储单元包括第一栅极、第二栅极、沟道结构、绝缘层和栅介质层,沟道结构在第一方向上延伸设置,第一栅极和第二栅极至少部分环绕沟道结构并层叠设置,第一方向为第一栅极和第二栅极的层叠方向;绝缘层沿第一方向设置在第一栅极与第二栅极之间;栅介质层至少部分设置在第一栅极与沟道结构之间、及第二栅极与沟道结构之间;多个存储单元在与第一方向相交的平面内阵列排布,每一行存储单元的第一栅极连接形成字线,多个存储单元的第二栅极连接形成板线。该存储单元可用于提升存储阵列的存储密度。