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기록

三维铁电存储器件

발명유효
21청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李瑌真; 郑海旭

IPC 분류

H10B 51/20 (2023.01)H10B 51/30 (2023.01)H10B 51/40 (2023.01)

本公开提供了一种三维铁电存储器件。所述三维铁电存储器件包括:衬底;多条位线,其在所述衬底上在第一方向上延伸,并且彼此间隔开;第一块选择线和第二块选择线,其在所述多条位线上方在所述第二方向上延伸;第一字线,其与所述第一块选择线的至少一部分交叠;第二字线,其与所述第二块选择线的至少一部分交叠;第一沟道,其在第一位线上在第三方向上延伸;第二沟道,其在所述第一位线上在所述第三方向上延伸;铁电图案,其布置在所述第一沟道与所述第二沟道之间;以及第一电容器电极和第二电容器电极,其被布置为与所述铁电图案相邻并且通过分隔图案在所述第一方向上分开。