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기록
存储芯片结构及其制备方法
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
郑泽杰; 何世坤
IPC 분류
H10B 61/00 (2023.01)H10N 50/20 (2023.01)H10N 50/01 (2023.01)
本申请公开了一种存储芯片结构及其制备方法。该存储芯片结构包括基底,基底具有第一表面;阵列区,阵列区包括第一连接线,磁性隧道结、顶部电极、第一连接部和位线,其中,第一连接线设置在第一表面上,磁性隧道结设置在第一连接线背离基底一侧,位线设置在第一表面上,位线与第一连接线相邻设置,第一连接部设置在位线背离基底一侧,磁性隧道结与第一连接部通过顶部电极连接。该存储芯片解决了相关技术中存储芯片制备过程中芯片光罩数量多,加工步骤多,制造成本高的问题,同时,也解决因逻辑区的金属互连高度高,导致金属填充工艺窗口较窄,存在工艺可靠性风险的问题。