一种具有共接阴极low K介质层和分立场板结构的准垂直肖特基势垒二极管

本发明为一种具有共接阴极low K介质层和分立场板结构的准垂直肖特基势垒二极管。该二极管的组成包括：衬底上覆盖有N电流扩展层，N电流扩展层上的一侧覆盖有N漂移层，N漂移层为朝向内侧的台阶状，其上表面矩阵分布有分立场板介质层，肖特基接触电极覆盖在分立场板介质层及其间隔所在的N漂移层上表面；low K介质层位于补齐N漂移层的一级台阶的位置；介质层覆盖在侧壁，并且并且延伸到low K介质层的表面；欧姆接触电极依次覆盖在low K介质层的上表面、介质层的上表面和侧壁，以及N电流扩展层暴露部分的上表面。本发明方法可操作性强，成本低，工艺简单可靠，适于工业上的推广使用。