场效应晶体管激光增材制造方法、系统及其应用

本发明公开了一种场效应晶体管激光增材制造方法、系统及其应用。场效应晶体管激光增材制造方法包括：以第一激光对栅极金属墨水、源极金属墨水和漏极金属墨水进行照射扫描形成栅极、源极和漏极，以第二激光对绝缘层墨水进行照射扫描形成绝缘层，以第三激光对半导体层墨水进行照射扫描形成金属氧化物半导体层。本发明实施例提供的场效应晶体管激光增材制造方法，加工精度高，最小特征尺寸<1 µm，相对喷墨打印(~10 µm)精度提高至少一个量级。