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기록

半导体结构及其形成方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

宋逸贤; 许凯; 高大为

IPC 분류

H10D 30/65 (2025.01)H10D 30/01 (2025.01)

本申请实施例提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构,包括:基底;漂移区,位于所述基底上;沟道层,位于所述漂移区内;阱区,位于所述基底上,且与所述漂移区的第一侧相邻;第一栅极结构,位于所述基底上,且横跨所述阱区和沟道层;源极掺杂层,位于所述第一栅极结构一侧的阱区内;漏极掺杂层,位于所述漂移区内且邻近所述漂移区的第二侧;第二栅极结构,位于所述源极掺杂层一侧的阱区内,且远离所述第一栅极结构;其中,所述第二栅极结构的深度大于所述源极掺杂层的深度,以及所述第二栅极结构的深度大于所述沟道层的深度。采用上述方法,可以提高半导体结构的性能。