一种基于氧化镓全透明垂直结构的光电探测器及其制备方法

本发明涉及一种基于氧化镓全透明垂直结构的光电探测器及其制备方法，包括：蓝宝石衬底；铟锡氧化物透明导电层作为底部电极，设置于所述蓝宝石衬底上表面；通氧非晶氧化镓层，设置于所述铟锡氧化物透明导电层上表面，与所述铟锡氧化物透明导电层形成肖特基接触；缺氧非晶氧化镓层，设置于所述通氧非晶氧化镓层上表面；碳掺杂氧化锌透明电极作为顶层电极，设置于所述缺氧非晶氧化镓层上表面，与所述缺氧非晶氧化镓层形成欧姆接触。本发明同时实现了高响应度和超快响应速度，其增益带宽积极高，完美适用于高速紫外光通信和快速脉冲信号探测。器件全透明特性允许光子从顶部、底部甚至侧面入射，极大地提高了器件的光学设计自由度和应用灵活性。彻底消除了传统金属电极的遮光问题，实现了最大化的光子捕获能力。