一种循环用水清洗机及其操作方法

本发明属于光伏行业硅片清洗领域，公开了一种循环用水清洗机及其操作方法。清洗机构、氧化机构、漂洗机构的用水采用循环方式，清洗机构配设清洗进水水箱和清洗喷淋水箱，氧化机构配设氧化水箱，漂洗机构配设漂洗水箱和漂洗喷淋水箱；其中清洗进水水箱用于给清洗机构中的清洗槽以及对清洗槽的测喷淋和底部喷淋供水，漂洗槽的纯水清洗完硅片后一半清洗液通过回流至漂洗水箱中，另一半通过回流至漂洗喷淋水箱，漂洗喷淋水箱连接水泵再将清洗液用于氧化机构和漂洗机构的喷淋区喷淋，漂洗机构喷淋区喷淋的清洗液会回流至漂洗喷淋水箱，氧化机构喷淋区喷淋的清洗液回流至清洗机构的清洗喷淋水箱使用。通过辊道输送硅片取消清洗花篮，增强清洗效果。