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一种微发光元件及其制备方法
发明专利有效
20权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
程晓桐; 何安和; 刘鹏; 曾明俊; 吕佳鑫; 李安平; 张永煌; 李夏童; 黄少华; 张中英; 林科闯; 蔡文必
IPC 分类
H10H 29/30 (2025.01)H10D 86/01 (2026.01)H10D 86/60 (2025.01)H10H 29/49 (2025.01)H10H 20/84 (2025.01)H10H 29/01 (2025.01)
本申请公开了一种微发光元件及其制备方法,包括:驱动基板;第一键合层,设置于驱动基板之上,第一键合层包括按照一定间隔排列的金属层和设置在所述金属层之间的绝缘层;第二键合层;设置于第一键合层之上,包括介质层和若干通孔,若干通孔贯穿介质层,通孔中填充导电材料,介质层为绝缘材料;若干个外延层,若干个外延层按照一定间距设置在所述第二键合层之上;钝化层,设置于所述外延层外壁以及第二键合层上,并在外延层上表面以及第二键合层上表面有开孔;N电极层,设置于所述钝化层上方。本发明的设计使得相邻两个外延层电隔离,无需对键合层进行蚀刻,有效避免微发光元件过度蚀刻、蚀刻不完全、侧壁金属残留等问题,提高Micro LED的产品良率。